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Effects of heavy metal contamination from corrosive gas and dopant handling equipment in silicon wafer processing (1984)

Details der Publikation

Archiv	Fraunhofer Publica (Germany)
Keywords	Getterwirkung, Lebensdauer, Minoritaetstraeger, Phosphorsilikatglas, Schwermetallverunreinigung
Typ	Journal Article
Sprache	english
Verknüpfungen	Solid state technology, Vol.27 (1984), pp.177-180 : Abb.,Tab.,Lit.