Scientific Commons: D. Muenchmeyer

Fachtagung 'Verbindungstechnik in elektrischen und elektrooptischen Geraeten und Systemen '88' der VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik, Karlsruhe, 25.-26.Februar 1988

Resists und Abformmassen fuer die Roentgentiefenlithographie und die Galvanoformung. (1988)

Ehrfeld, W., Hagmann, P., Van Huelsen, E., Mohr, J., Muenchmeyer, D., Weigelt, W.

Makromolekulares Kolloquium, Albert-Ludwigs-Universitaet, Freiburg, 3.-5.Maerz 1988

LIGA process: sensor construction techniques via X-ray lithography. (1988)

Ehrfeld, W., Goetz, F., Muenchmeyer, D., Schelb, W., Schmidt, D.

1988 Solid State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, S.C., June 6-9, 1988 Proc.

Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie. (1988)

Muenchmeyer, D.

Vortr.: Physikal.Kolloquium, Gesamthochschule Kassel, 7.Juli 1988

Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen unterschiedlicher Strukturhoehe mittels Roentgentiefenlithographie. (1988)

Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Goetz, F.

Verfahren zur Herstellung eines Filters und danach hergestelltes Filter. (1988)

Ehrfeld, W., Hagmann, P., Mohr, J., Muenchmeyer, D.

Microfabrication of sensors and actuators for microrobots. (1988)

Ehrfeld, W., Goetz, F., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

Proc.of the IEEE Internat.Workshop on Intelligent Robots and Systems - Toward the Next Generation Robot and System, Tokyo, J, October 31 - November 2, 1988

Mask making for synchrotron radiation lithography. (1987)

Ehrfeld, W., Glashauser, W., Muenchmeyer, D., Schelb, W.

Conf. 'Microcirciut Engineering', Interlaken, CH, September 23-25, 1986

Aufbau von Fertigungseinrichtungen fuer die Roentgentiefenlithographie. (1987)

Muenchmeyer, D.

Mikrofertigung: 3.Fachgespraech der KfK-Veranstaltungsreihe 'Technologietransfer durch Kooperation', SKT-KfK, Karlsruhe, 17.Oktober 1986

Accuracy limits and potential applications of the LIGA technique in integrated optics. (1987)

Muenchmeyer, D., Ehrfeld, W.

Weck, M. [Hrsg.]

Beryllium - Masken fuer die Roentgenlithographie. (1987)

Schelb, W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Baving, H.J.

Fachtagung Maskentechnik fuer Mikroelektronik-Bausteine, Muenchen, 10.November 1987

Mikrolithographische Herstellung isoporoeser Strukturen. (1987)

Ehrfeld, W., Hagmann, P., Muenchmeyer, D.

DECHEMA Jahrestagung, Frankfurt, 14.-15.Mai 1987

Microfabrication of isoporous membranes by X-ray lithography and molding process. (1987)

Ehrfeld, W., Einhaus, R., Muenchmeyer, D., Strathmann, H.

First Annual Nat.Meeting of the North American Membrane Society, Cincinatti, Ohio, June 3-5, 1987

Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). (1987)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D.

VDE/VDI-Fachkreis Mikroelektronik und Forschungsgesellschaft fuer Feingeraete-, Mikro- und Uhrentechnik e.V.; Vortragsveranstaltung: Mikromechanik, Stuttgart-Buesnau, 14.Januar 1987

Fabrication of microstructures using the LIGA process. (1987)

Ehrfeld, W., Bley, P., Goetz, F., Hagmann, P., Maner, A., Mohr, J., ...

Proc.of the Micro Robots and Teleoperators Workshop, Hyannis, Cape Cod, Mass., November 9-11, 1987

X-ray lithography. (1987)

Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

Workshop on Spectral, Spatial and Temporal Resolution with Synchrotron Radiation,

Verfahren zum Herstellen eines passiven optischen Bauelements mit einem oder mehreren Echelette-Gittern. (1987)

Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

Aufbau von Fertigungseinrichtungen fuer Masken fuer die Roentgentiefenlithografie. (1987)

Muenchmeyer, D., Ehrfeld, W., Maner, A., Schelb, W.

KfK-Nachrichten, 19(1987) S.180-91

Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren. (1986)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

Mikrostruktur-Technologie: Sonderschau Hannover-Messe, 9.-16.April 1986

Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process). (1986)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D.

Microelectronic Engineering, 4(1986) S.35-56

Einfuehrungsseminar Mikrofertigung. (1986)

Bley, P., Ehrfeld, W., Goetz, F., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D., ...

Vortr.: Technologiefabrik, Karlsruhe, 13.-16.Oktober 1986

Mikromechanik: Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren. (1986)

Ehrfeld, W., Goetz, F., Muenchmeyer, D.

Vortr.: Robert Bosch GmbH, Schwieberdingen, 16.September 1986

Verfahren zur Herstellung verformbarer Vielfach-Verbindungen fuer den elektrischen Anschluss mikroelektronischer Bauelemente und nach diesem Verfahren hergestellte Vielfachverbindungen. (1986)

Ehrfeld, W., Hagmann, P., Muenchmeyer, D., Becker, E.W.

Verfahren zur Herstellung mechanisch trennbarer Vielfach-Verbindungen fuer den elektrischen Anschluss mikroelektronischer Bauelemente. (1986)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Hagmann, P.

Verfahren zum Herstellen von aus Trennkoerpern mit Abschlussplatten bestehenden Trennduesenelementen zur Trennung gas- oder dampffoermiger Gemische. (1985)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Betz, H., Heuberger, A.

Konzepte fuer die Herstellung von Spinnduesenplatten durch Roentgenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung. (1985)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Mohr, J., Muenchmeyer, D.

KfK-3961 (August 85)

Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). (1985)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D.

KfK-3995 (November 85)

Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Roentgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trennduesenelemente. (1984)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

KfK-3732 (April 84)

Verfahren zum Herstellen von Trennduesenelementen. (1983)

Becker, E.W., Bier, W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

Production of separation nozzle systems for Uranium enrichment by a combination of X-ray lithographie and galvanoplastics (1982)

Becker, E.W., Betz, H., Ehrfeld, W., Glashauser, W., Heuberger, A., Michel, H.J., ...

Intermediate energy physics. (1982)

Bassalleck, B., Bluem, P., Bolger, J., Borie, E., Boschitz, E., Bueche, G., ...

Beck, R.; Bueche, G.; Fluegge, G.; Kernert, N. [Hrsg.]

Physikalische Grundlagenuntersuchungen zum Projekt Strahlentherapie mit negativen Pionen am Schweizerischen Institut fuer Nuklearforschung (SIN). (1982)

Amols, H.I., Bueche, G., Degitz, H., Hofmann, K., Klein, U., Kluge, W., ...

Fruehjahrstagung DPG, Kernphysik, Karlsruhe, 22.-26.Maerz 1982.

Energy spectra of charged particles emitted following the absorption of negative pions stopped within oxygen-containing compounds. (1982)

Muenchmeyer, D., Amols, H.I., Bueche, G., Kluge, W., Matthaey, H., Moline, A., ...

Physics in Medicine and Biology, 27(1982) S.1131-49

Energy spectra of charged particles emitted following the absorption of stopped negative pions in calcium. (1982)

Randoll, H., Amols, H.I., Kluge, W., Matthaey, H., Moline, A., Muenchmeyer, D.

Nuclear Physics A, 381(1982) S.317-29

Production of separation nozzle systems for uranium enrichment by a combination of X-ray lithography and galvanoplastics. (1982)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Betz, H., Heuberger, A., Pongratz, S., ...

Naturwissenschaften, 69(1982) S.520-23

Multiple scattering distributions for therapeutic pion beams. (1981)

Amols, H.I., Bueche, G., Kluge, W., Matthaey, H., Moline, A., Muenchmeyer, D.

Physics in Medicine and Biology, 26(1981) S.277-89

Test of a pion range monitor using the radiative capture of pions on protons #p`-p-->n#g. (1980)

Bueche, G., Kluge, W., Mattaey, H., Moline, A., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

Radiation and Environmental Biophysics, 17(1980) S.169-85

Beitraege zum Projekt Strahlentherapie mit negativen Pionen. (1980)

Amols, H., Bueche, G., Degitz, H., Hofmann, K., Jetter, K.H., Klein, U., ...

SIN-Jahresbericht 1979, S.C66-C68

Sekundaerteilchenemission nach der Absorption gestoppter Pionen an `1`2C, `1`6O, `4`0Ca. (1979)

Bueche, G., Klein, U., Kluge, W., Matthaey, H., Mechtersheimer, G., Muenchmeyer, D., ...

Spring Meeting DPG,NNV,DFS,BNV-SBP, Nuclear Physics, Gent, Belgium, March 26-30, 1979. Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd 14(1979) S.778

Experimente zur Darstellung der Reichweite von negativen Pionen in gewebeaehnlichen Targets (Visualisierng). (1979)

Bueche, G., Klein, U., Kluge, W., Matthaey, H., Muenchmeyer, D., Schmidt, D., ...

Spring Meeting DPG,NNV,DFS,BNV-SBP, Nuclear Physics, Gent, Belgium, March 26-30, 1979. Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd 14(1979) S.872

Messung von Energiespektren und korrelierten geladenen Sekundaerteilchen nach der Absorption gestoppter negativer Pionen in sauerstoffhaltigen Targets. (1979)

Muenchmeyer, D.

Diplomarbeit, Univ.Karlsruhe 1979

Visualization of #p`- and #p`+ stopping density distributions in one and two dimensions. (1979)

Matthaey, H., Bueche, G., Klein, U., Kluge, W., Muenchmeyer, D., Moline, A., ...

SIN-Newsletter, No 11(1979) S.58-62

Test of a pion range monitor using the radiative capture of pions on protons #p`-p-->n#g. (1979)

Bueche, G., Kluge, W., Matthaey, H., Moline, A., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

SIN-Newsletter, No 11(1979) S.63-67

Measurements of energy spectra of charged particles emitted following the absorption of stopped pions on oxygen compounds and in calcium. (1979)

Amols, H., Bueche, G., Kluge, W., Matthaey, H., Moline, A., Muenchmeyer, D., ...

SIN-Newsletter, No 11(1979) S.67-69