Lugscheider, E., Bobzin, K., Erdle, A., Horn, A., Pütz, U., Kreutz, E.W., ...
Hier wird die Herstellung eines Mikroaktors auf Basis eines mittels Laser strukturiertem Bimetall-Elementes vorgestellt. Die Bimetallschichten werden als mehrlagiger Schichtverbund mit dem...
Metrology for laser-structured microdevices by CCD-camera based vision systems (2000)
Ostlender, A., Pütz, U., Kreutz, E.W.
Recent developements in the area of micromachining and mircofabrication are accelerating commericial awareness of microstructures. Product applications ranging from automotive and medical devices to...