W. EHRFELD

Details der Publikationsliste

Zeitraum

1968 - 2003

Anzahl

183

Co-Autoren

Advanced microstructure products by synchrotron radiation lithography (1994)

Lehr, H., Ehrfeld, W.

Deep X-ray lithography using synchrotron radiation with a characteristic wavelength of about 1 - 3 Å is a powerful tool to generate threedimensional microstructures in thick layers of polymeric...

Advanced microstructure products by synchrotron radiation lithography (1994)

Lehr, H., Ehrfeld, W.

Deep X-ray lithography using synchrotron radiation with a characteristic wavelength of about 1 - 3 Å is a powerful tool to generate threedimensional microstructures in thick layers of polymeric...

Fabrication of capacitive acceleration sensors by the LIGA-technique. (1991)

Burbaum, C., Mohr, J., Bley, P., Ehrfeld, W.

Proc.of the Internat.Conf. 'EUROSENSORS IV', Karlsruhe, October 1-3, 1990

Linear driving device for micro-actuators. (1990)

Kowanz, B., Bacher, W., Bley, P., Ehrfeld, W.

Micromechanics Europe 1990, Berlin, November 26-27, 1990

Resist technology for deep-etch synchrotron radiation lithography. (1989)

Mohr, J., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Stutz, A.

First Meeting of the European Polymer Federation, European Symp.on Polymeric Materials, Lyon, F, September 14-18, 1987

Fabrication of microstructures of extreme structural heights by reaction injection molding. (1989)

Hagmann, P., Ehrfeld, W.

4th Annual Internat.Polymer Processing Society Meeting, Orlando, Fla., May 8-11, 1988

Requirements on resist layers in deep-etch synchrotron radiation lithography. (1989)

Mohr, J., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

32nd Internat.Symp.on Electron, Ion and Photon Beams, Fort Lauderdale, Fla., May 31 - June 3, 1988

Prospective nonlithographic applications of a synchrotron radiation source for deep-etch lithography. (1989)

Moser, H.O., Ehrfeld, W.

Proc. of the 3rd Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation, Tsukuba, J, August 28 - September 2, 1988

Galvanoformung in der Mikrostrukturtechnik. (1989)

Harsch, S., Ehrfeld, W., Mohr, J.

Fachtagung Galvanoformung, Frankfurt, 3.-4.April 1989

Mikrostrukturierung nach dem LIGA-Verfahren. (1989)

Schmidt, D., Bley, P., Ehrfeld, W., Goetz, F., Mohr, J., Muenchmeyer, D.

AMA-Seminar Mikromechanik, Heidelberg, 14.-15.Maerz 1989 Tagungsband S.63

Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturuebertragung bei der Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung. (1989)

Mohr, J., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

Vortr.: Forschungsges.u.d.Fachausschuss 'Mikroelektronik und Mikromechanik' der VDE/VDI Ges., Stuttgart, 11.Januar 1989

The LIGA process for the production of microstructures with special respect to electroforming techniques. (1989)

Bacher, W., Ehrfeld, W., Maner, A.

Meeting of the European Chapter of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Rottweil, June 13, 1989

Microfabrication of membranes with extreme porosity and uniform pore size. (1988)

Ehrfeld, W., Einhaus, R., Muenchmeyer, D., Strathmann, H.

5th Internat.Symp.on Synthetic Membranes in Science and Industry, Tuebingen, September 2-5, 1986

Progress in deep-etch synchrotron radiation lithography. (1988)

Ehrfeld, W., Bley, P., Goetz, F., Mohr, J., Muenchmeyer, D., Schelb, W., ...

31st Internat.Symp.on Electron, Ion, and Photon Beams, Woodland Hills, Calif., May 26-29, 1987

Mass production of microstructures with extreme aspect ratios by electroforming. (1988)

Maner, A., Harsch, S., Ehrfeld, W.

Internat.Conf.and Exhibition of Electroplating and Surface Finishing (SUR/FIN'87), Chicago, Ill., July 13-16, 1987 Proc.

Mikrostrukturtechnik. (1988)

Ehrfeld, W.

Seminar 'Physikalische Technologien', Forschungsinstitut fuer Edelmetalle und Metallchemie,

Neue Produkte durch Mikrostrukturtechnik. (1988)

Ehrfeld, W.

Informationsveranstaltung 'Mikrotechnik' des Landesverbandes der Baden-Wuerttembergischen Industrie e.V., Stuttgart, 3.Februar 1988

Herstellung von elektrischen und optischen Mikroverbindungen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens. (1988)

Ehrfeld, W., Becker, E.W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

Fachtagung 'Verbindungstechnik in elektrischen und elektrooptischen Geraeten und Systemen '88' der VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik, Karlsruhe, 25.-26.Februar 1988

Electroforming techniques in the LIGA process for the production of microdevices. (1988)

Maner, A., Ehrfeld, W.

Interfinish '88, 12th World Congress on Surface Finishing, Paris, F, October 4-7, 1988 Proc.

Reinraum-Galvanoformungsautomat mit vollautomatischer Prozessfuehrung und Badanalytik. (1988)

Schmidt, D., Ehrfeld, W., Heger, R., Maner, A., Sigel, T.

Internat.Treffen fuer Chemische Technik und Biotechnologie DECHEMA (Vortragsprogramm Achema 88), Frankfurt, 5.-11.Juni 1988

LIGA process: sensor construction techniques via X-ray lithography. (1988)

Ehrfeld, W., Goetz, F., Muenchmeyer, D., Schelb, W., Schmidt, D.

1988 Solid State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, S.C., June 6-9, 1988 Proc.

Mikrostrukturierung durch Tiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung. (1988)

Ehrfeld, W.

Kolloquium des Instituts fuer Festkoerperforschung, KFA Juelich, 26.August 1988

Microfabrication of sensors and actuators for microrobots. (1988)

Ehrfeld, W., Goetz, F., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

Proc.of the IEEE Internat.Workshop on Intelligent Robots and Systems - Toward the Next Generation Robot and System, Tokyo, J, October 31 - November 2, 1988

Mask making for synchrotron radiation lithography. (1987)

Ehrfeld, W., Glashauser, W., Muenchmeyer, D., Schelb, W.

Conf. 'Microcirciut Engineering', Interlaken, CH, September 23-25, 1986

LIGA - ein neues Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturprodukten. (1987)

Ehrfeld, W., Schmidt, D.

Seminar 'Synchrotronstrahlung - Grundstein der Mikromechanik' der Industrie- und Handelskammer Nordschwarzwald, Pforzheim, 17.Februar 1987

Beryllium - Masken fuer die Roentgenlithographie. (1987)

Schelb, W., Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D., Baving, H.J.

Fachtagung Maskentechnik fuer Mikroelektronik-Bausteine, Muenchen, 10.November 1987

Microfabrication of isoporous membranes by X-ray lithography and molding process. (1987)

Ehrfeld, W., Einhaus, R., Muenchmeyer, D., Strathmann, H.

First Annual Nat.Meeting of the North American Membrane Society, Cincinatti, Ohio, June 3-5, 1987

Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). (1987)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D.

VDE/VDI-Fachkreis Mikroelektronik und Forschungsgesellschaft fuer Feingeraete-, Mikro- und Uhrentechnik e.V.; Vortragsveranstaltung: Mikromechanik, Stuttgart-Buesnau, 14.Januar 1987

Fabrication of microstructures with extreme structural heights by reaction injection molding. (1987)

Hagmann, P., Ehrfeld, W., Vollmer, H.

First Meeting of the European Polymer Federation, European Symp.on Polymeric Materials, Lyon, F, September 14-18, 1987

Herstellung von Mikrostrukturprodukten nach dem LIGA-Verfahren: Neueste Entwicklungen. (1987)

Ehrfeld, W.

Kolloquium 'Zukunftsweisende Herstellungsverfahren der Mikromechanik und der Mikroelektronik', VDI-Technologiezentrum, Duesseldorf, 15.September 1987

Fabrication of microstructures using the LIGA process. (1987)

Ehrfeld, W., Bley, P., Goetz, F., Hagmann, P., Maner, A., Mohr, J., ...

Proc.of the Micro Robots and Teleoperators Workshop, Hyannis, Cape Cod, Mass., November 9-11, 1987

X-ray lithography. (1987)

Ehrfeld, W., Muenchmeyer, D.

Workshop on Spectral, Spatial and Temporal Resolution with Synchrotron Radiation,

Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung. (1987)

Ehrfeld, W.

Statusseminar Synchrotronstrahlung, Fachbereich Physik, Freie Universitaet Berlin, 10.-11.Dezember 1987

Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie. (1987)

Ehrfeld, W.

Vortr.: Physikal.Kolloquium, Universitaet Freiburg, 14.Dezember 1987

Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren. (1986)

Becker, E.W., Ehrfeld, W., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D., Schmidt, D.

Mikrostruktur-Technologie: Sonderschau Hannover-Messe, 9.-16.April 1986

Mikrofabrikation mit Roentgentiefenlithographie. (1986)

Ehrfeld, W.

Vortr.: Seminar fuer Festkoerperphysik, Universitaet Tuebingen, 23.Januar 1986

Mikrostrukturierung mit dem LIGA-Verfahren. (1986)

Ehrfeld, W., Schmidt, D.

4.VDI-Kolloquium 'Moderne Oberflaechen- und Duennschichttechnologien', VDI-Techn.Zentrum, Duesseldorf, 18.September 1986

Einfuehrungsseminar Mikrofertigung. (1986)

Bley, P., Ehrfeld, W., Goetz, F., Hagmann, P., Maner, A., Muenchmeyer, D., ...

Vortr.: Technologiefabrik, Karlsruhe, 13.-16.Oktober 1986

Mikromechanik: Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren. (1986)

Ehrfeld, W., Goetz, F., Muenchmeyer, D.

Vortr.: Robert Bosch GmbH, Schwieberdingen, 16.September 1986

Galvanoformung metallischer Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe. (1986)

Becht, W., Ehrfeld, W., Maner, A., Schmidt, D.

Galvanoformung : Fortschritte und neue Anwendungsgebiete. Berichtsband ueber das 8.Ulmer Gespraech am 24.und 25.April 1986 in Neu-Ulm.

Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik zur Fertigung von Mikrostrukturprodukten. (1986)

Ehrfeld, W., Schelb, W.

Vortr.: Arbeitskreis 'Duennschichttechnik' des Wirtschaftsverbandes Industrieller Unternehmen Baden e.V., Freiburg, 11.Dezember 1986

Uranium enrichment by the separation nozzle process. (1983)

Becker, E.W., Bier, W., Bley, P., Ehrfeld, W., Schubert, K., Seidel, D.

Nuclear Power Experience: Proc.of an Internat.Conf., Wien, A, Sept.13-17, 1982

Anreicherung von Uran-235. (1980)

Ehrfeld, W., Ehrfeld, U.

Gmelin Handbuch der Anorganischen Chemie. 8.Aufl.System-Nr.55: U-Uran. Erg.Bd.A2: Isotope. By C. Keller. Ed.: K.-C. Buschbeck, C. Keller. Berlin, Heidelberg, New York: Springer 1980 S.57-149

The separation nozzle process. (1978)

Ehrfeld, W.

Von Karman Institute for Fluid Dynamics, Lecture Series 1978-8: Aerodynamic Separation of Gases and Isotopes - Recent Advances, Brussels, May 29 - June 2, 1978. Rhode-Saint-Genese: Von Karman Inst....

Enrichment of uranium-235 by separation nozzle systems with dynamic flow deflection. (1978)

Becker, E.W., Bley, P., Ehrfeld, U., Ehrfeld, W., Knapp, U., Krieg, G.

Annual National Meeting of the American Nuclear Society, San Diego, Calif., June 18-23, 1978

Separation nozzle systems with dynamic flow deflection. (1978)

Becker, E.W., Bley, P., Ehrfeld, U., Ehrfeld, W., Knapp, U., Krieg, G.

Campargue, R.[Hrsg.]: Rarefied Gas Dynamics. Pap.selected from the 11th int.symp., Cannes, France, July 3-8, 1978. Paris: CEA 1979. Vol.I, S.587-600

Enhancement of nozzle discharge coefficients in rarefied flows of disparate mass mixtures. (1978)

Bley, P., Ehrfeld, U., Ehrfeld, W.

Campargue, R.[Hrsg.]: Rarefied Gas Dynamics. Pap.selected from the 11th int.symp., Cannes, France, July 3-8, 1978. Paris: CEA 1979. Vol.I, S.241-52

Selective measurement of density and rotational temperature in gaseous mixtures using a tunable CO§2-laser. (1978)

Breton, H., Ehrfeld, W., Krieg, G.

Campargue, R.[Hrsg.]: Rarefied Gas Dynamics. Pap.selected from the 11th int.symp., Cannes, France, July 3-8, 1978. Paris: CEA 1979. Vol.I, S.545-52

Free molecular probe measurements of isotope distribution in the separation nozzle. (1978)

Ehrfeld, U., Ehrfeld, W., Schmid, E.

Campargue, R.[Hrsg.]: Rarefied Gas Dynamics. Pap.selected from the 11th int.symp., Cannes, France, July 3-8, 1978. Paris: CEA 1979. Vol.I, S.617-27

Uranisotopentrennung. (1978)

Ehrfeld, W., Ehrfeld, U.

Keller, C.; Moellinger, H. [Hrsg.]: Kernbrennstoffkreislauf. Bd 1 u.Bd 2. Bd 1: Allgemeine Aspekte, Versorgung von Kernkraftwerken. Heidelberg: Huethig 1978. S.131-61

Uranisotopentrennung. (1977)

Ehrfeld, U., Ehrfeld, W.

Chemiker-Zeitung, 101(1977) S.53-63

Experimentelle Untersuchungen der Stroemungs- und Diffusionsvorgaenge in der Trennduese. (1977)

Ehrfeld, U., Ehrfeld, W., Krieg, G., Schmid, E.

41.Physikertagung 1977, Karlsruhe, 20.-23.September 1977. Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd 12(1977) S.1099-1100

The Separation Nozzle Process. (1976)

Ehrfeld, W.

Von Karman Institute for Fluid Dynamics. Lecture Series 82: Aerodynamic Separation of Gases and Isotopes, Rhode-Saint-Genese, January 5-9, 1976. Rhode-Saint-Genese: Von Karman Inst. 1976

Messung der raeumlichen Dichteverteilung einer Komponente eines stroemenden Gasgemisches mit einem CO§2-Laser. (1976)

Biermann, E., Ehrfeld, W., Krieg, G.

Fruehjahrstagung DPG, Festkoerperphysik, Freudenstadt, 5.-9. April 1976. Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd 11(1976) S.679

The separation nozzle - An aerodynamic device for large-scale enrichment of uranium 235. (1976)

Becker, E.W., Bley, P., Ehrfeld, U., Ehrfeld, W.

Potter, J.L.[Hrsg.]: Rarefied Gas Dynamics. 10.Internat.Symp., Aspen, Colo., July 19-23, 1976. New York, N.Y.: AIAA 1977, S.3-16 (Progress in Astronautics and Aeronautics. Vol.51. P.1)

Theoretical analysis of ternary diffusion phenomena in the separation nozzle. (1976)

Berkhahn, W., Ehrfeld, W., Krieg, G.

Euromech-Colloquium-80. Separation Phenomena in Gas Mixture Flows, Karlsruhe, September 6-9, 1976. Karlsruhe: Braun 1977. (Stroemungsmechanik und Stroemungsmaschinen. H.22) S.55

Measurement of partial density in rarefied gas mixture flows by absorption of infrared laser radiation. (1976)

Biermann, E., Ehrfeld, W., Krieg, G.

Euromech-Colloquium-80. Separation Phenomena in Gas Mixture Flows, Karlsruhe, September 6-9, 1976. Karlsruhe: Braun 1977. (Stroemungsmechanik und Stroemungsmaschinen. H.22) S.56

Test facilities and procedures for optimizing separation nozzle systems. (1976)

Bley, P., Ehrfeld, W., Knapp, U.

Euromech-Colloquium-80. Separation Phenomena in Gas Mixture Flows, Karlsruhe, September 6-9, 1976. Karlsruhe: Braun 1977. (Stroemungsmechanik und Stroemungsmaschinen. H.22) S.57-58

The basic phenomena of flow and diffusion processes in the separation nozzle. (1976)

Ehrfeld, U., Ehrfeld, W.

Euromech-Colloquium-80. Separation Phenomena in Gas Mixture Flows, Karlsruhe, September 6-9, 1976. Karlsruhe: Braun 1977. (Stroemungsmechanik und Stroemungsmaschinen. H.22) S.53-54

A far-infrared gas analyzer. (1976)

Ehrfeld, W., Krieg, G.

2nd Internat. Conference on Submillimeter Waves and their Applications, San Juan, Puerto Rico, December 6-10, 1976

Messtechnik und Versuchsstrategie bei der Optimierung von Trennduesensystemen zur Anreicherung von Uran-235. (1975)

Bley, P., Ehrfeld, W., Jaeger, F.M., Knapp, U.

Reaktortagung, Nuernberg, 8.-11. April 1975, Deutsches Atomforum e.V., Kerntechnische Ges.im Dt.Atomforum e.V. Leopoldshafen 1975: ZAED. S.322-25

Physics and Development Potential of the Separation Nozzle Process. (1975)

Becker, E.W., Berkhahn, W., Bley, P., Ehrfeld, U., Ehrfeld, W., Knapp, U.

International Conference on Uranium Isotope Separation, London, March 5-7, 1975

Physics and Technology of Separation Nozzle Process. (1975)

Becker, E.W., Bier, W., Ehrfeld, W., Schubert, K., Schuette, R., Seidel, D.

1.European Nuclear Conference, Paris, April 21-25, 1975. Transaction of the ANS, 20(1975) S.801-02

Uranium Enrichment by the Separation Nozzle Process. (1975)

Becker, E.W., Bier, W., Ehrfeld, W., Schubert, K., Schuette, R., Seidel, D.

Joint Meeting of the American Nuclear Society and the Atomic Industrial Forum, San Francisco, Calif., November 16-21, 1975

Das Entwicklungspotential des Trennduesenverfahrens zur Anreicherung von Uran 235. (1973)

Becker, E.W., Bier, W., Bley, P., Ehrfeld, W., Eisenbeiss, G.

Reaktortagung, Karlsruhe, 10.-13.April 1973, Deutsches Atomforum e.V., Kerntechnische Ges.im Dt.Atomforum e.V. Leopoldshafen 1973: ZAED. S.255-58

The Separation Nozzle Process for Enrichment of U`2`3`5. (1971)

Becker, E.W., Bier, W., Ehrfeld, W., Eisenbeiss, G., Frey, G., Geppert, H., ...

Peaceful Uses of Atomic Energy. Proc.of the 4. Internat.Conf. on the Peaceful Uses of Atomic Energy, Geneva, 6-16 September 1971. Vol.9. New York: United Nations; Vienna: IAEA 1972. S.3-13....