Scientific Commons: W. Pfleging

In diesem Beitrag werden adaptive Flüssiglinsen mit dicken Silikonmembranen in einem Durchmesserbereich von 5 bis 15 mm vorgestellt. Die Membranen werden mittels Gießtechnik in einem Batchprozess...

Verfahren zum Verbinden von Werkstücken aus Kunststoff. (2007)

Pfleging, W., Baldus, O., Baldini, A.

Microstructure devices generation by selective laser melting. (2007)

Brandner, J.J., Hansjosten, E., Anurjew, E., Pfleging, W., Schubert, K.

Pfleging, W. [Hrsg.]

Laser-assisted modification of polymers for microfluidic, microoptics and cell culture applications. (2007)

Pfleging, W., Adamietz, R., Brückner, H.J., Bruns, M., Welle, A.

Pfleging, W. [Hrsg.]

Lasergestützte Prozesse für Polymerwerkstoffe in der Mikro- und Nanotechnik. Strukturierung, Modifizierung und Verbindungstechnik. (2007)

Pfleging, W., Lorenz, J., Schierjott, P., Welle, A., Wilson, S.

Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007

Novel materials processing for automated patch clamping. (2007)

Wilson, S., Welle, A., Gottwald, E., Mollemann, A., Kirby, P.B., Pfleging, W., ...

Lab-on-a-Chip World Congress : Microfluidics for the Life Sciences, Edinburgh, GB, May 15-16, 2007

A chip-based platform for the in vitro generation of tissues in three-dimensional organization. (2007)

Gottwald, E., Giselbrecht, S., Augspurger, C., Lahni, B., Dambrowsky, N., Truckenmüller, R., ...

Lab on a Chip, 7(2007) S.777-85

Lasergestützte Prozesse in der Mikro- und Nanotechnik. Strukturierung, Modifizierung und Verbindungstechnik. (eingeladen) (2007)

Pfleging, W.

VDI-Kolloquium, Fachhochschule Oldenburg/Ostfriesland/Wilhelmshaven, Emden, 26.Juni 2007

Laser-based micro- and nanopackaging and assembly. (2007)

Pfleging, W., Lu, Y., Washio, K., Bachmann, F.G., Hoving, W., [Hrsg.]

Proc.of Photonics West: Lasers and Applications in Science and Technology, San Jose, Calif., January 20-25, 2007

Laser-assisted modification of polystyrene surfaces for cell culture applications. (2007)

Pfleging, W., Bruns, M., Welle, A., Wilson, S.

Applied Surface Science, 253(2007) S.9177-84

Rapid fabrication of functional PMMA microfluidic devices by CO§2-laser patterning and HPD-laser transmission welding. (2007)

Pfleging, W., Schierjott, P., Malek, C.K.

Geiger, M. [Hrsg.]

Automated patch clamping systems design using novel materials. (2007)

Wilson, S., Welle, A., Gottwald, E., Molleman, A., Kirby, P.B., Pfleging, W., ...

Dimov, S. [Hrsg.]

Adaptive Silikonmembranlinsen mit integriertem Piezo-Aktor. (2007)

Schneider, F., Müller, C., Ulmer, U., Eberhard, D., Besser, H., Pfleging, W., ...

MikroSystemTechnik Kongress 2007, Dresden, 15.-17.Oktober 2007

Mikrostrukturierte Werkzeuge für das Pulverspritzgießen. (2007)

Ruprecht, R., Bauer, W., Gietzelt, T., Guttmann, M., Heldele, R., Pfleging, W., ...

Kolaska, H. [Hrsg.]

Kapillarelektrophorese in laserstrukturierten und lasergeschweißten mikrofluidischen Polymerchips. (2007)

Schierjott, P., Pfleging, W., Guber, A.E., Hoffmann, W.

Gerlach, G. [Hrsg.]

Process chain in polymer micro-optics: material development, mold insert fabrication and replication. (2006)

Ritzhaupt-Kleissl, E., Böhm, J., Hausselt, J., Müller, C., Pfleging, W., Hanemann, T.

NEMO Scientific Networking Meeting, Karlsruhe, February 9-10, 2006

Microfabrication in metals and polymers. (2006)

Brandner, J.J., Gietzelt, T., Henning, T., Kraut, M., Moritz, H., Pfleging, W.

Kockmann, N. [Hrsg.]

Laser patterning and welding of transparent polymers for microfluidic device fabrication. (2006)

Pfleging, W., Baldus, O.

Bachmann, F.G. [Hrsg.]

Excimer laser material processing. State of the art and new approaches in microsystem technology. (eingeladen) (2006)

Pfleging, W., Przybylski, M., Brückner, H.J.

Bachmann, F.G. [Hrsg.]

Laser-assisted patterning and welding of polymers for applications in microsystem technology. (eingeladen) (2006)

Pfleging, W.

Impact of a new Biosensor Technology on the Diagnosis of Viral Deseases, National Institute for Infectious Diseases, Roma, I, July 13, 2006

Formeinsätze und Werkzeuge für das Mikrospritzgießen. (2006)

Piotter, V., Guttmann, M., Pfleging, W.

Werkstoff- und Verfahrenstechnologien, Produkt- und Prozessentwicklung : 18.Wissenschaftliche Konf., Mittweida, 9.-11.November 2006

Laser-assisted processes in polymer micro optics: direct writing, mold inserts and replication. (2006)

Pfleging, W., Steinbock, L., Hanemann, T., Ritzhaupt-Kleissl, E.

NEMO Annual Review Meeting, Karlsruhe, 30.November 2006

Laser-assisted welding of transparent polymers for micro-chemical engineering and life science. (2005)

Pfleging, W., Baldus, O., Bruns, M., Baldini, A., Bemporad, E.

Fieret, J. [Hrsg.]

Verfahren zur Herstellung von flüssigen optischen Wellenleitern. (2005)

Steinbock, L., Pfleging, W., Litfin, K.

Fügetechnik für transparente Kunststoffe. (2005)

Pfleging, W.

Kunststoffverarbeitung Deutschland, (2005) September, S.44

Lasertechnik und mikromechanische Bearbeitung. Entwicklungen zur Mikrostrukturierung, Oberflächenmodifikation und Verbindungstechnik. (2004)

Pfleging, W., Rohde, M., Heidinger, R., Gietzelt, T., Schaller, T.

5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004

Miniaturisiertes Thermoelementarray für die Verbesserung der Kunststoff-Spritzgießsimulation. (2004)

Guttmann, M., Holstein, N., Seemann, K., Pfleging, W., Moneke, M., Amberg, J.

5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004

Herstellung von polymeren Wellenleitern - dotierte Polymere mit modifizierten optischen Eigenschaften. (2004)

Böhm, J., Litfin, K., Finke, S., Henzi, P., Pfleging, W., Steinbock, L., ...

5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004

Herstellung von polymeren Wellenleitern. UV-induzierte Brechzahlmodifikation. (2004)

Henzi, P., Finke, S., Gaganidze, E., Litfin, K., Wallrabe, U., Mohr, J., ...

5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004

Fabrication and characterization of single-mode integrated polymer waveguide components. (2004)

Gaganidze, E., Litfin, K., Böhm, J., Finke, S., Henzi, P., Heidinger, R., ...

Righini, G.C. [Hrsg.]

Lasergestützte Verbindung von transparenten mikrostrukturierten Polymeren. (2004)

Pfleging, W., Baldini, A., Baldus, O.

Seminar 'Fügen von Kunststoffen: konventionelle Technik vs.Laser', Erlangen, 1.Dezember 2004

Experimentelle Bestimmung thermischer Material- und Prozessdaten für die Spritzgießsimulation unter Verbesserung der Messtechnik. (2003)

Amberg, J., Guttmann, M., Holstein, N., Moneke, M., Pfleging, W., Seemann, K.

Rapid fabrication of microcomponents. UV laser assisted prototyping, laser micromachining of mold inserts and replication via light induced reaction injection molding. (2003)

Pfleging, W., Bernauer, W., Hanemann, T., Torge, M.

4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001

Herstellung und Charakterisierung von Wellenleiterstrukturen in PMMA. (2003)

Litfin, K., Finke, S., Gaganidze, E., Pfleging, W., Steinbock, L., Heidinger, R., ...

Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik (AKF) der DPG, Fachverband Chemische Physik und Polymerphysik (CPP), Dresden, 24.-28. März 2003

Rapid fabrication and replication of metal, ceramic and plastic mould inserts for application in microsystem technologies. (2003)

Pfleging, W., Hanemann, T., Torge, M., Bernauer, W.

Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, Journal of Mechanical Engineering Science, 217(2003) S.53-63

Experimentelle Bestimmung thermischer Material- und Prozessdaten für die Spritzgießsimulation unter Verbesserung der Messtechnik. (2003)

Amberg, J., Guttmann, M., Holstein, N., Moneke, M., Pfleging, W., Seemann, K.

Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6804 (Februar 2003)

Cut it out. Shaping the micrometer. (2003)

Schaller, T., Pfleging, W., Hlavac, M.

Machines and Processes for Micro-Scale and Meso-Scale Fabrication, Metrology and Assembly : Proc.of 2003 ASPE Winter Topical Meeting, Gainesville, Fla., January 22-23, 2003

Direct laser-assisted processing of polymers for micro-fluidic and micro-optical applications. (2003)

Pfleging, W., Böhm, J., Finke, S., Gaganidze, E., Hanemann, T., Heidinger, R., ...

Pique, A. [Hrsg.]

Laser-assisted fabrication of monomode polymer waveguides and their optical characterization. (2003)

Pfleging, W., Finke, S., Gaganidze, E., Litfin, K., Steinbock, L., Heidinger, R.

Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 34(2003) S.904-11

Entwicklung von Mikrothermoelementarrays und deren Einsatz in der Spritzgießsimulation (AiF 12544). (2003)

Hosltein, N., Guttmann, M., Pfleging, W., Seemann, K., Amberg, J., Moneke, M.

6.Dresdner Sensor Symp., Dresden, 8.-10.Dezember 2003

Fabrication of functional polymeric prototypes for micro-fluidical and micro-optical applications. (2003)

Pfleging, W., Böhm, J., Finke, S., Gaganidze, E., Hanemann, T., Heidinger, R., ...

CLEO/Pacific Rim 2003 : The 5th Pacific Rim Conf.on Lasers and Electro-Optics, Taipei, Taiwan, December 15-19, 2003

Dreidimensionaler Laserstrahlformabtrag von Stählen und Hartmetallen für den Einsatz in der Mikrospritzgießtechnik zur Herstellung von Mikrokomponenten aus Kunststoff, Metall und Keramik. (2003)

Pfleging, W., Zum Gahr, K.H.

Weck, M. [Hrsg.]

Laser micromachining and light induced reaction injection molding as suitable process sequence for the rapid fabrication of microcomponents. (2002)

Hanemann, T., Pfleging, W., Hausselt, J., Zum Gahr, K.H.

Reichl, H. [Hrsg.]

Mikrofertigung für die Medizintechnik: Ideen, Muster und Produkte. (2002)

Ruprecht, R., Fischer, H., Gerlich, A., Guber, A., Hanemann, T., Pfleging, W., ...

Symp.'Kunststoffe in der Medizintechnik', Schloss Elmau, 23.-24.Januar 2002

Laser micromachining of polymeric mold inserts or rapid prototyping of PMMA-devices via photomolding. (2002)

Pfleging, W., Hanemann, T., Bernauer, W., Torge, M.

Sugioka, K. [Hrsg.]

Mikromaterialbearbeitung durch spanabhebende und lasergestützte Verfahren. (2002)

Pfleging, W., Schaller, Th.

Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe, 34(2002) S.210-20

Mikrospitzen aus Kunststoff für die Medikamentenapplikation. (2002)

Muslija, A., Guber, A.E., Heckele, M., Herrmann, D., Pfleging, W., Schaller, T.

Beiträge zur 36.Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Biomedizinische Technik (DGBMT) im VDE, Karlsruhe, 25.-27.September 2002

Minaturized sensor for the measurement of temperatures in a mold cavity. (2002)

Moneke, M., Amberg, J., Holstein, N., Guttmann, K., Seemann, K., Pfleging, W.

ANTEC 2002 Plastics : Annual Technical Conf., San Francisco, Calif., May 7-8, 2002

The medical engineering program of Forschungszentrum Karlsruhe. (2001)

Fischer, H., Selig, M., Vagner, J., Vogel, B., Hempel, E., Kaiser, M., ...

12th Internat.Conf.of the Society for Minimally Invasive Therapy (SMIT 2000), Gelsenkirchen, September 6-9, 2000

Experimentelle Bestimmung thermischer Material- und Prozessdaten für die Spritzgießsimulation unter Verbesserung der Messtechnik. (2001)

Holstein, N., Guttmann, M., Pfleging, W., Seemann, K., Moneke, M., Amberg, J.

5.Dresdner Sensor-Symp., Dresden, 10.-12.Dezember 2001

Carbon nanotube bags: catalytic formation, physical properties, two-dimensional alignment and geometric structuring of densely filled carbon tubes. (2001)

Schneider, J.J., Engstler, J., Franzka, S., Hofmann, K., Albert, B., Ensling, J., ...

Chemistry - A European Journal, 7(2001) S.2888-95

Laser assisted patterning of polymers and CE-Chip production with motorized mask. (2001)

Torge, M., Pfleging, W.

4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001

Laser micromachining of mold inserts for replication techniques. State of the art and applications. (2001)

Pfleging, W., Hanemann, T., Bernauer, W., Torge, M.

Gower, M.C. [Hrsg.]

Qualitätskontrolle beim Spritzgießen. (2001)

Moneke, M., Amberg, J., Bastian, M., Holstein, N., Guttmann, M., Seemann, K., ...

Werkstoffe, (2001) Nr.5, S.30-31

Laser ablation - A new low-cost approach for passivated rear contact formation in crystalline silicon solar cell technology (2000)

Preu, R., Glunz, S.W., Steinbühl, S., Pfleging, W., Wettling, W.

New simplified methods for patterning the rear contact of RP-PERC high-efficiency solar cells (2000)

Glunz, S.W., Preu, R., Schaefer, S., Schneiderlöchner, E., Pfleging, W., Lüdemann, R., ...

Laser micromachining for applications in thin film technology (2000)

Pfleging, W., Ludwig, A., Seemann, K., Preu, R., Mäckel, H., Glunz, S.W.

Entwicklung und Test von laserstrukturierten Formeinsätzen für das Spritzgießen von Mikroteilen. (2000)

Pfleging, W., Hanemann, T.

Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe, 31(1999) S.21-28

SMA microgripper with integrated antagonism. (2000)

Kohl, M., Just, E., Pfleging, W., Miyazaki, S.

Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999

Laser micromachining for applications in thin film technology. (2000)

Pfleging, W., Ludwig, A., Seemann, K., Preu, R., Mäckel, H., Glunz, S.W.

Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, June 1-4, 1999

Surface modifications of metallic mold inserts during laser treatment. (2000)

Pfleging, W., Hanemann, T., Meier, A.

EUROMAT 99 : Biannual Meeting of the Federation of European Materials Societies (FEMS), München, September 27-30, 1999

Fertigung von mikrostrukturierten Komponenten und Formeinsätzen aus Metall. (2000)

Bacher, W., Bade, K., Guber, A., Guttmann, M., Pfleging, W., Schaller, T., ...

4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000

Entwicklung und Fertigung mikrofluidischer Komponenten für analytische Anwendungen in den Life Sciences. (2000)

Kautt, M., Schomburg, W., Heckele, M., Hoffmann, W., Reichert, J., Moss, D., ...

4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000

Lasergestützte Entwicklung von mikrostrukturierten Komponenten und Abformwerkzeugen. (2000)

Pfleging, W., Hanemann, T., Hoffmann, W.

4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000

Which microfabrication technique will you use today? (2000)

Schaller, Th., Heckele, M., Pfleging, W., Piotter, V.

euspen bulletin, (2000) Issue 2, S.9-10

Rapid fabrication of microcomponents. (2000)

Hanemann, T., Hausselt, J., Ruprecht, R., Skrifvars, M., Zum Gahr, K.H., Pfleging, W.

Courtois, B. [Hrsg.]

NiTi applications for MIT. (2000)

Fischer, H., Vogel, B., Kaiser, M., Brhel, K., Pfleging, W., Besser, H., ...

12th Internat.Conf.of the Society for Minimally Invasive Therapy (SMIT 2000), Gelsenkirchen, September 6-9, 2000

Laser ablation. A new low-cost approach for passivated rear contact formation in crystalline silicon solar cell technology. (2000)

Preu, R., Glunz, S.W., Schäfer, S., Lüdemann, R., Wettling, W., Pfleging, W.

16th European Photovoltaic Solar Energy Conf., Glasgow, GB, May 1-5, 2000

Laser micromachining of metallic mold inserts for replication techniques. (2000)

Pfleging, W., Meier, A., Hanemann, T., Gruhn, H., Zum Gahr, K.H.

Kumar, D. [Hrsg.]

Manufacturing microcomponents for minimally invasive therapy and medical analysis. (2000)

Ruprecht, R., Berner, M., Fischer, H., Guber, A., Pfleging, W., Piotter, V., ...

Plastics Info World, 2(2000) No.3 (in japan.Sprache)

Manufacturing microcomponents for minimally invasive therapy and medical analysis. (1999)

Ruprecht, R., Berner, M., Fischer, H., Guber, A., Pfleging, W., Piotter, V., ...

Medical Device Technology Conf., Frankfurt, 10.-11.Juni 1999

Miniaturisierung in der Medizintechnik: Fertigung von Mikrobauteilen für die minimal invasive Therapie und Analytik. (1999)

Ruprecht, R., Berner, M., Fischer, H., Guber, A., Pfleging, W., Piotter, V., ...

23.Jahrestagung des VDI-K, Baden-Baden, 3.-4.März 1999

Flexible distal tip made of nitinol (NiTi) for a steerable endoscopic camera system. (1999)

Fischer, H., Vogel, B., Pfleging, W., Besser, H.

Proc.of the Internat.Conf.on Martensitic Transformation (ICOMAT'98), San Carlos de Bariloche, RA, December 7-11, 1998

Rapid prototyping in der Mikrosystemtechnik. (1999)

Hanemann, T., Pfleging, W.

Dötzel, W. [Hrsg.]

SMA microgripper. (1999)

Just, E., Kohl, M., Pfleging, W., Miyazaki, S.

1st European Conf.on Shape Memory and Superelastic Technologies (SMST-99), Antwerpen, B, September 5-9, 1999

Lasermaterialbearbeitung in der Medizintechnik und Mikrosystemtechnik. (1999)

Pfleging, W.

LaserOpto, 31(1999) Nr.5, S.54-57

Hydraulische Muskeln als Antriebseinheit für endoluminale Systeme in der Medizin. (1998)

Schulz, S., Besser, H., Dürr, S., Kohl, M., Pfleging, W., Voges, U.

3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998

Shape memory microvalves for high pressure applications. (1998)

Kohl, M., Just, E., Strojek, A., Skrobanek, K.D., Pfleging, W., Miyazaki, S.

Actuator 98 : 6th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 17-19, 1998 Conf. Proc. S.473-77

Laserstrukturieren und Prüfen von NiTi-Mikrokomponenten. (1998)

Pfleging, W., Besser, H., Blumhofer, M., Rohde, M., Zimmermann, H.

3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998

Fabrication of a magnetostrictive membrane-type micropump by means of magnetron sputtering and laser assisted silicon micromachining. (1998)

Ludwig, A., Pfleging, W., Quandt, E.

Actuator 98 : 6th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 17-19, 1998 Conf. Proc. S.376-79

Laserstrahlfügen von Kunststoffen zur Herstellung endoluminaler Systeme in der Medizin. (1998)

Pfleging, W., Besser, H., Blumhofer, M., Schild, D., Zimmermann, H.

3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998

Laser patterning of hard metal alloys for applications in micro injection molding. (1998)

Pfleging, W., Piotter, V., Hanemann, T.

Mordike, B.L. [Hrsg.]

KrF-excimer laser pretreatment and metallization of polymers (1997)

Weichenhain, R., Wesner, D.A., Pfleging, W., Horn, H., Kreutz, E.W.

Metal film adhesion to polymers can be improved by pretreatment with UV-laser radiation before metal deposition. Chemical changes associated with irradiation are investigated for polyimide (PI) and...

Excimer-laser patterning of copper in LDE (laser dry etching) (1997)

Pfleging, W., Vörckel, A., Duddek, H., Wesner, D.A., Kreutz, E.W.

Patterning of Cu bulk material and Cu foils (1 mu m in thickness) with etch rates up to 20 A.U./pulse is performed in an LDE (laser dry etching) process with excimer laser radiation (lambda = 248 nm)...

Dry etching and micromachining of precision Silicon components (1996)

Kreutz, E.W., Pfleging, W., Jandeleit, J., Urbasch, G.

Dry etching and micromachining with laser radiation of short wavelength and pulse length are investigated to present their process capabilities for the production of surface structures within...

CCl4-assisted CF4 etching of silicon in a microwave-assisted LDE(laser dry etching)-process (1996)

Pfleging, W., Wesner, D.A., Kreutz, E.W.

A combination of microwave excitation and a mask projection scheme is applied for laser-assisted laterally structured etching of silicon. Different feed gases are used, such as CF4, either...

Tailoring of surface properties by removal and deposition with laser radiation (1995)

Kreutz, E.W., Frerichs, H., Mertin, M., Wesner, D.A., Pfleging, W.

The tailoring of chemical, morphological, and mechanical surface properties with laser radiation is described on the basis of the understanding and control of photon-matter interaction. The removal...

Surface analysis of films and film systems produced by pulsed laser deposition (1995)

Wesner, D.A., Pfleging, W., Klotzbücher, T., Kreutz, E.W.

Ceramic films and film systems (ZrO2 films, ZrO2/Ti multilayers, and BN films) are deposited by pulsed laser deposition (PLD) and analyzed using X-ray photoelectron (XPS), Auger electron (AES), and...

Structure and chemical composition of BN thin films grown by pulsed-laser deposition -PLD- (1995)

Klotzbücher, T., Pfleging, W., Mertin, M., Wesner, D.A., Kreutz, E.W.

BN thin films are grown on Si(100) substrates in a pulsed-laser-deposition (PLD) process using a pulsed CO2 laser, a hexagonal-phase BN (h-BN) target, and N2 as processing gas. The effect of RF power...

Patterning of Si(100) in microwave assisted LDE (Laser dry etching) (1995)

Pfleging, W., Wehner, M., Lupp, F., Kreutz, E.W.

With the MALDE process high etch rates up to 1 mu m/min are obtained for p-Si(100) and P-Si(111) at room temperature by using excited CF4 and non-excited CC14 as processing gases. XPS measurements...

Laser radiation. A tool for generation of defined thin film properties for application (1995)

Kreutz, E.W., Alunovic, M., Klotzbücher, T., Mertin, M., Wesner, D.A., Pfleging, W.

Pulsed laser deposition as a method of physical vapour deposition suitable for the deposition of thin films with complex structures and compositions is briefly reviewed. Excimer, Nd:YAG and CO2 laser...

PLD of thin films for applications (1994)

Voss, A., Pfleging, W., Alunovic, M., Kreutz, E.W.

Thin films are widely used in a variety of applications either as structural overcoats or as functional coatings. Pulsed laser deposition (PLD) shows various advantageous properties for the...

Properties and applications of single-component -Al2O3, ZrO2, BN- and multi-component films -ZrO2, Ti- fabricated by pulsed laser deposition (1994)

Kreutz, E.W., Alunovic, M., Voss, A., Pfleging, W., Sung, H., Wesner, D.A.

Single-component films of cerammic materials (Al2O3, ZrO2, BN) as well as multi-component films and controllably inhomogeneous films (ZrO2, Ti) were investigated. The deposition was performed using...

Keramikschichten auf metallischen Substraten (1992)

Sung, H., Pfleging, W., Voss, A., Kreutz, E.W., Erkens, G.

Bei dem PlD (Pulsed Laser Deposition)-Verfahren wird Targetmaterial durch Laserstrahlung abgetragen und auf einem Substrat deponiert. Die Vielseitigkeit des Verfahrens eröffnet ein breites...

W. Pfleging

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